樫山kashiyama真空泵 NeoDry300E 無油干式 采用氣鎮(zhèn)（Gas Ballast)結(jié)構(gòu)，可以排出水蒸汽 變頻馬達(dá)、低噪音、低震動

樫山kashiyama真空泵 NeoDry60E 無油干式 采用氣鎮(zhèn)（Gas Ballast)結(jié)構(gòu)，可以排出水蒸汽 變頻馬達(dá)、低噪音、低震動

樫山kashiyama真空泵 NeoDry30E 無油干式 采用氣鎮(zhèn)（Gas Ballast)結(jié)構(gòu)，可以排出水蒸汽 變頻馬達(dá)、低噪音、低震動

樫山kashiyama真空泵 NeoDry36E 無油干式 采用氣鎮(zhèn)（Gas Ballast)結(jié)構(gòu)，可以排出水蒸汽 變頻馬達(dá)、低噪音、低震動

日本kashiyama真空泵 NeoDry15E 無油干式 采用氣鎮(zhèn)（Gas Ballast)結(jié)構(gòu)，可以排出水蒸汽 變頻馬達(dá)、低噪音、低震動

日本樫山kashiyama真空泵NeoDry7E 無油干式 變頻馬達(dá)、低噪音、低震動

日本樫山kashiyama真空泵 SDL系列 大排量 1.可用于大尺寸的Wafer & FPD 大容量可組合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。 2.縮短周期時(shí)間 大容量約為atm.壓力，可實(shí)現(xiàn)高速泵送，*適合大型L/L室

日本樫山kashiyama真空泵 SDE-TX系列 SDE系列專注于苛刻的工藝耐久性 1.垂直螺絲，耐用性強(qiáng)，可防沉淀。 2.材質(zhì)及溫度設(shè)定，耐腐蝕。 嚴(yán)酷的工藝應(yīng)用實(shí)例